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2004年已經(jīng)60歲的尹志堯帶領(lǐng)一群志同道合的人兩手空空踏上了飛往中國(guó)的班機(jī)

從此硅谷最有成就華人的榮耀已成過往等待他的是想辦法突破中國(guó)等離子刻蝕機(jī)的空白刻蝕機(jī)是雕刻出每一枚芯片電路的納米級(jí)手術(shù)刀這個(gè)挑戰(zhàn)艱巨且緊迫

2004年5月31日中微半導(dǎo)體設(shè)備公司下稱中微公司在上海市牛頓路的一間辦公室中注冊(cè)成立

17年過去了尹志堯已經(jīng)77歲仍然奮斗在一線而中微公司則已經(jīng)成為技術(shù)一流的刻蝕機(jī)企業(yè)臺(tái)積電制造最先進(jìn)的5納米芯片也會(huì)用到中微的刻蝕機(jī)

最近4個(gè)月時(shí)間里中微公司的股價(jià)漲了130市值超過1200億元成為資本市場(chǎng)的寵兒甚至有越來越熱之勢(shì)

在資金短缺巨頭專利打壓的困境中一位60歲老人到底是如何率隊(duì)完成這場(chǎng)國(guó)產(chǎn)刻蝕機(jī)突圍奇跡的刻蝕機(jī)的成功突圍又能給芯片產(chǎn)業(yè)鏈的其他環(huán)節(jié)帶來什么啟發(fā)

01尹志堯負(fù)重回國(guó)

當(dāng)年如果走進(jìn)中微公司上海市牛頓路的辦公室可以看到十余人在這間辦公室忙碌穿梭氣氛與其他創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)別無二致

但這是一個(gè)極其特殊的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)團(tuán)隊(duì)平均年齡已過半百基本是等待退休的年紀(jì)

如果有對(duì)硅谷熟知的人進(jìn)到這個(gè)辦公室一定會(huì)大吃一驚團(tuán)隊(duì)帶頭的尹志堯時(shí)年60歲曾是硅谷高科技企業(yè)應(yīng)用材料的副總裁57歲的麥?zhǔn)肆x曾是應(yīng)用材料公司資深總監(jiān)46歲的李天笑曾是應(yīng)用材料公司亞太項(xiàng)目經(jīng)理

中微公司創(chuàng)始人董事長(zhǎng)CEO尹志堯

是什么樣事情能夠讓這群高齡精英匯聚重新創(chuàng)業(yè)答案是造出國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕機(jī)的夢(mèng)想

如果把制造芯片類比為在晶圓上畫刻版畫刻蝕就是依照?qǐng)D樣雕刻出所需的電路圖案芯片越先進(jìn)所需的制程越小微觀圖案的分辨率就越高對(duì)刻蝕機(jī)精度的要求也就越高

據(jù)產(chǎn)業(yè)人士向市界估算一個(gè)月產(chǎn)不到5萬片的8英寸CMOS工藝晶圓廠需配置不同類型的刻蝕機(jī)合計(jì)四五十臺(tái)其中的等離子刻蝕機(jī)單臺(tái)價(jià)格在400萬500萬美元以上

如此龐大的市場(chǎng)中國(guó)企業(yè)卻長(zhǎng)時(shí)間缺席美國(guó)的應(yīng)用材料公司和泛林公司日本的東京電子公司這三巨頭蠶食了90以上的市場(chǎng)份額

2004年時(shí)任上海市經(jīng)委副主任曾推動(dòng)中芯國(guó)際落地上海的江上舟正為國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕機(jī)的市場(chǎng)空白發(fā)愁

那一年的上海世界半導(dǎo)體設(shè)備展上尹志堯以應(yīng)用材料公司副總裁刻蝕產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理的身份參展與江上舟不期而遇

尹志堯先后在泛林半導(dǎo)體和應(yīng)用材料任職主導(dǎo)幾代刻蝕技術(shù)演進(jìn)手握89項(xiàng)美國(guó)專利和200多項(xiàng)海內(nèi)外專利正是江上舟尋覓許久的良才

彼時(shí)江上舟已罹患肺癌仍系心國(guó)內(nèi)刻蝕機(jī)的自主研發(fā)多番動(dòng)員尹志堯回國(guó)創(chuàng)業(yè)對(duì)尹志堯高齡回國(guó)的躊躇江上舟豪言我是個(gè)癌癥病人只剩下半條命哪怕豁出這半條命也想為國(guó)家造出光刻機(jī)等離子刻蝕機(jī)我們一起干吧

這一席話堅(jiān)定了尹志堯的創(chuàng)業(yè)決心隨后經(jīng)尹志堯游說麥?zhǔn)肆x等十余位硅谷人才一同歸國(guó)決意瞄準(zhǔn)中國(guó)芯片刻蝕設(shè)備領(lǐng)域的空白

前中芯國(guó)際董事長(zhǎng)江上舟

隨著刻蝕機(jī)領(lǐng)域三足鼎立的市場(chǎng)格局日益固化下游的芯片制造廠商一旦選定長(zhǎng)期合作伙伴日后不會(huì)輕易更改這留給中微追趕的時(shí)間十分緊迫

要從夾縫中突圍中微唯一的活路是研發(fā)出精度更高成本更低的機(jī)器

2004年中芯國(guó)際投入建設(shè)12英寸晶圓產(chǎn)線中國(guó)的刻蝕機(jī)也做出了零的突破北方華創(chuàng)向中芯國(guó)際天津廠出貨了首臺(tái)刻蝕機(jī)但在技術(shù)水平上與國(guó)外有代際的巨大差距中芯國(guó)際剛開始推進(jìn)035013微米的全面技術(shù)認(rèn)證和量產(chǎn)而國(guó)際先進(jìn)水平是90納米

中微的日子也不好過芯片產(chǎn)業(yè)是典型的技術(shù)密集和人才密集型行業(yè)當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)相關(guān)人才極其稀缺中微雖然初創(chuàng)團(tuán)隊(duì)星光熠熠但要做出國(guó)產(chǎn)的等離子刻蝕機(jī)人才儲(chǔ)備差得太遠(yuǎn)

如此窘迫的境況下尹志堯麥?zhǔn)肆x等人不得不把一分鐘掰成兩半用同時(shí)中微通過吸收歸國(guó)留學(xué)生的方式逐步擴(kuò)大研發(fā)規(guī)模

功夫不負(fù)有心人到2007年中微一舉推出可用于6516納米制芯片制造的等離子體刻蝕機(jī)

根據(jù)當(dāng)時(shí)的相關(guān)報(bào)道中微產(chǎn)品亮相之初就證明了自身的競(jìng)爭(zhēng)力幾十次測(cè)試結(jié)果顯示中微刻蝕機(jī)加工每片芯片成本平均降低3036借此逐步切進(jìn)了臺(tái)積電和中芯國(guó)際的采購(gòu)體系

02巨頭揮舞專利巨棒

憑借良好的性價(jià)比中微公司的刻蝕機(jī)快速打開市場(chǎng)訂單隨之而來與此同時(shí)這個(gè)年僅三歲的團(tuán)隊(duì)迎來了另一場(chǎng)風(fēng)暴

2007年10月中微公司被應(yīng)用材料公司告上了美國(guó)法庭應(yīng)用材料主張中微公司的首款設(shè)備中應(yīng)用了自己的商業(yè)機(jī)密理由包括尹志堯等多名中微員工是自己的前雇員等

中微公司等離子體刻蝕設(shè)備

利用專利侵權(quán)問題發(fā)難在全球芯片市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中并不少見專利侵權(quán)問題索賠金額大耗時(shí)長(zhǎng)對(duì)實(shí)際經(jīng)營(yíng)和企業(yè)名譽(yù)都會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重影響結(jié)果可能會(huì)左右一個(gè)企業(yè)的生死存亡

比如中芯國(guó)際20032009年間與臺(tái)積電的專利戰(zhàn)打得難舍難分最終以中芯國(guó)際落敗賠款2億美元現(xiàn)金收?qǐng)鼋?jīng)此一役中芯國(guó)際創(chuàng)始人張汝京為擔(dān)責(zé)而辭職公司管理一度陷入混亂直到2009年江上舟出任董事長(zhǎng)才有好轉(zhuǎn)

幸運(yùn)的是同樣的故事并未在中微公司上演作為經(jīng)驗(yàn)豐富的半導(dǎo)體老將早在創(chuàng)業(yè)之前尹志堯已經(jīng)為可能的專利爭(zhēng)端未雨綢繆

在和有志回國(guó)創(chuàng)業(yè)的工程師接觸初期尹志堯就要求他們不帶任何文件回國(guó)不涉及任何商業(yè)機(jī)密以避免法律糾紛

因此中微面對(duì)與應(yīng)用材料的專利糾紛時(shí)底氣十足將已有的600萬份文件交由有關(guān)部門徹查被證明清白

2009年美國(guó)泛林半導(dǎo)體又在中國(guó)臺(tái)灣狀告中微專利侵權(quán)8個(gè)月后臺(tái)灣法院駁回泛林半導(dǎo)體訴訟請(qǐng)求

不僅如此中微公司還反手給了泛林一記漂亮的法律反擊

在臺(tái)灣與泛林展開專利拉鋸戰(zhàn)時(shí)中微發(fā)現(xiàn)泛林半導(dǎo)體涉嫌竊取自己的技術(shù)文件

中微隨即在上海對(duì)泛林提起告訴法院一審認(rèn)定泛林存在侵權(quán)要求其銷毀持有的相關(guān)設(shè)備照片不得披露使用相關(guān)商業(yè)秘密判令泛林賠償訴訟相關(guān)支出90萬元

截至中微公司2019年7月披露招股書此案件在二審處理中中微二審要求泛林半導(dǎo)體及其關(guān)聯(lián)方賠償因侵權(quán)導(dǎo)致的全部損失即停止侵權(quán)銷毀培訓(xùn)資料賠償研發(fā)費(fèi)用等市界就此致電中微公司證券部暫未得到更多信息

2019年7月中微公司成為科創(chuàng)板首批掛牌上市企業(yè)其招股書中寫道公司在與國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)先公司數(shù)輪的商業(yè)秘密和專利訴訟中均達(dá)成和解或勝訴以事實(shí)結(jié)果證明了公司扎實(shí)的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)基礎(chǔ)和應(yīng)對(duì)國(guó)際復(fù)雜知識(shí)產(chǎn)權(quán)挑戰(zhàn)的能力

從數(shù)量來看截至2019年2月末中微公司申請(qǐng)了1201項(xiàng)專利其中發(fā)明專利1028項(xiàng)海外發(fā)明專利465項(xiàng)已獲授權(quán)專利951項(xiàng)其中發(fā)明利800項(xiàng)

與數(shù)百發(fā)明專利相對(duì)應(yīng)中微保持著穩(wěn)健的產(chǎn)品研發(fā)速度平均不到兩年推出一款產(chǎn)品根據(jù)招股書中透露的信息中微公司刻蝕機(jī)的平均交付時(shí)間為約37個(gè)月平均驗(yàn)收通過確認(rèn)收入時(shí)間是約2個(gè)月

現(xiàn)在的中微公司代表著國(guó)內(nèi)刻蝕機(jī)技術(shù)的天花板還在全球分工的芯片產(chǎn)業(yè)鏈中站穩(wěn)了腳跟

業(yè)界一般把28納米分辨率視為芯片先進(jìn)程度的分界線28納米及以上被稱為成熟制程28納米以下被稱為先進(jìn)制程

高端的等離子體刻蝕機(jī)可以用于先進(jìn)制程的芯片生產(chǎn)2015年之前美國(guó)一直向中國(guó)廠商禁運(yùn)這類設(shè)備直到中微突破這項(xiàng)技術(shù)禁令隨之廢除

目前全球僅有臺(tái)積電和三星兩家公司能量產(chǎn)5納米芯片臺(tái)積電就用了中微的等離子體刻蝕機(jī)生產(chǎn)先進(jìn)制程的芯片

國(guó)內(nèi)另一半導(dǎo)體設(shè)備巨頭北方華創(chuàng)的刻蝕機(jī)突破了制造14納米制程芯片的技術(shù)壁壘相關(guān)設(shè)備于2016年開始出貨

兩家公司相對(duì)比中微更專注在芯片刻蝕設(shè)備研發(fā)上并在2012年切進(jìn)LED賽道研制出首臺(tái)用于LED芯片制造的MOCVD設(shè)備今年6月份中微公司還發(fā)布了用于高性能MiniLED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備目前MiniLED已然成為了市場(chǎng)的熱點(diǎn)

北方華創(chuàng)的優(yōu)勢(shì)在于產(chǎn)品線更齊全擁有半導(dǎo)體裝備真空裝備新能源鋰電裝備精密元器件四大事業(yè)群

據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)VLSI統(tǒng)計(jì)的客戶滿意度2019年中微在全球晶圓制造設(shè)備市場(chǎng)排名第三也是前五名中唯一的中國(guó)企業(yè)

03芯片設(shè)備企業(yè)的融資困境

中微雖在技術(shù)上爬上金字塔尖但在市場(chǎng)上仍然面臨巨頭們的強(qiáng)大壓力

據(jù)德邦證券研報(bào)2020年到2021年第一季度期間泛林半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備在國(guó)內(nèi)十家晶圓制造企業(yè)中市占率為488排名第一中微公司排名第二市占率為185約為泛林半導(dǎo)體的1312

差距背后繞不開一個(gè)關(guān)鍵問題資金

創(chuàng)業(yè)之初中微公司的啟動(dòng)資金合計(jì)不到6000萬元人民幣

對(duì)比之下在國(guó)外任職時(shí)尹志堯每年可支配的研發(fā)經(jīng)費(fèi)有2億美元約合1297億人民幣

6000萬元很快燒光后盡管有外資積極表現(xiàn)出投資意愿但為了盡可能保證公司的內(nèi)資架構(gòu)尹志堯堅(jiān)持多方奔波聯(lián)絡(luò)國(guó)內(nèi)投資

2004年前后國(guó)內(nèi)資本對(duì)芯片市場(chǎng)缺乏了解投資意愿并不強(qiáng)烈綜合型新經(jīng)濟(jì)投行青桐資本的執(zhí)行總經(jīng)理陳蓉鴻對(duì)市界表示芯片投資對(duì)投資人甄別項(xiàng)目的能力要求較高芯片領(lǐng)域的項(xiàng)目需要投資人對(duì)技術(shù)對(duì)產(chǎn)業(yè)有更加深刻的理解需要整個(gè)投資團(tuán)隊(duì)的背景更加專業(yè)

最終還是江上舟挺身而出為尹志堯和國(guó)家開發(fā)銀行行長(zhǎng)陳元牽線讓中微拿到5000萬美元約合324億元人民幣的貸款解除燃眉之急

芯片領(lǐng)域投資相比新消費(fèi)互聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域需要投資人有更大的耐心一個(gè)芯片企業(yè)從創(chuàng)立到上市至少需要六年以上有的甚至做了十幾年極少數(shù)趕上風(fēng)口的才能五年上市陳蓉鴻對(duì)市界說這個(gè)周期與消費(fèi)互聯(lián)網(wǎng)項(xiàng)目大不相同不是簡(jiǎn)單地靠資本就能造就傳奇的

另外中微公司所處于的芯片設(shè)備環(huán)節(jié)處于產(chǎn)業(yè)鏈上游相比中游的芯片設(shè)計(jì)企業(yè)更加需要長(zhǎng)時(shí)間的投入和培育在投資市場(chǎng)上也面臨更多質(zhì)疑的目光

在近年來幫助芯片項(xiàng)目獲得融資的過程中我們發(fā)現(xiàn)在產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)上大部分投資機(jī)構(gòu)更喜歡投資芯片設(shè)計(jì)類企業(yè)因?yàn)槟Ｊ捷p投資小回報(bào)快陳蓉鴻說

所幸今天在國(guó)產(chǎn)替代的背景下芯片高投入的商業(yè)邏輯已經(jīng)更加容易被資方所理解和接受

04中國(guó)需要更多尹志堯和江上舟

今年7月初中微公司公告定增結(jié)果大基金二期中金公司國(guó)泰君安高毅資產(chǎn)等機(jī)構(gòu)在列其中大基金二期居首以25億元獲配244403萬股新晉為中微第五大股東

中微公司2021年2月1日公告的回復(fù)函寫道以近期公開招標(biāo)的三家Fab廠即芯片制造廠采購(gòu)的半導(dǎo)體設(shè)備訂單情況為例刻蝕設(shè)備及CMP拋光研磨設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率約為196和156CVD設(shè)備及量測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率約15和20

要提升市場(chǎng)份額中微依然任重道遠(yuǎn)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)普遍在研發(fā)端和銷售端面臨困境

中微公司MOCVD設(shè)備

在技術(shù)研發(fā)端國(guó)際大廠形成了較高的專利壁壘國(guó)內(nèi)廠商即使做出產(chǎn)品也經(jīng)常在技術(shù)自主上面臨質(zhì)疑甚至需要與資金雄厚的外商對(duì)簿公堂而在市場(chǎng)銷售端國(guó)際大廠在市場(chǎng)份額上占據(jù)了先發(fā)優(yōu)勢(shì)而芯片設(shè)備的驗(yàn)證周期較長(zhǎng)動(dòng)輒幾月甚至幾年下游客戶輕易不愿更換設(shè)備供應(yīng)商

除去人才資金技術(shù)市場(chǎng)方面的難題芯片等關(guān)鍵技術(shù)行業(yè)不可避免地會(huì)面臨地緣政治風(fēng)險(xiǎn)尹志堯曾在采訪中多次表達(dá)企業(yè)之間的商業(yè)技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)不應(yīng)該被上升到政治的高度去進(jìn)行評(píng)判

今年尹志堯已經(jīng)年屆七十七仍擔(dān)任中微的核心研發(fā)人員

尹志堯剛回國(guó)時(shí)有一次乘坐出租車司機(jī)對(duì)他說你看起來只有38歲尹志堯聞言爽朗笑到太好了以后我就是38歲的人日后尹志堯便真的以38歲一樣的精力帶領(lǐng)中微公司突圍

回溯中國(guó)刻蝕機(jī)的突圍經(jīng)驗(yàn)相比于資金和市場(chǎng)充足的人才仍是打開那把鎖的真正黃金鑰匙

中國(guó)也需要更多像尹志堯江上舟這樣的芯片人才保持豪情和沖勁他們亦是真正值得尊敬和學(xué)習(xí)的偶像和榜樣

參考資料

1本土半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)力上海中微進(jìn)入全球主流采購(gòu)體系第一財(cái)經(jīng)日?qǐng)?bào)

2根植中國(guó)關(guān)注亞洲中微高起點(diǎn)進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中國(guó)電子報(bào)

3年輕的挑戰(zhàn)者中微公司的天時(shí)地利人和獨(dú)角獸智庫(kù)

作者丨董溫淑編輯丨李曙光