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精密儀器有：經(jīng)緯儀、圓度儀、輪廓儀、氣壓計(jì)、真空計(jì)等。

1、經(jīng)緯儀

經(jīng)緯儀是一種根據(jù)測角原理設(shè)計(jì)的測量水平角和豎直角的測量儀器，分為光學(xué)經(jīng)緯儀和電子經(jīng)緯儀兩種，最常用的是電子經(jīng)緯儀。

2、圓度儀

圓度儀（Roundnessmeasuringinstrument）是一種利用回轉(zhuǎn)軸法測量工件圓度誤差的測量工具。

3、輪廓儀

輪廓儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。

4、氣壓計(jì)

氣壓計(jì)是根據(jù)托里拆利(EvangelistaTorricelli)的實(shí)驗(yàn)原理而制成，用以測量大氣壓強(qiáng)的儀器。

5、真空計(jì)

真空計(jì)（VacuumGauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。