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2022-12-02
更新時間:2022-03-20 03:43:02作者:佚名
微波等離子體技術半導體生產工藝中已經采用微波等離子體技術,進行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化硅片。
微波是指頻率為300MHz-300GHz的電磁波,是無線電波中一個有限頻帶的簡稱,即波長在0.1毫米~1米之間的電磁波。微波頻率比一般的無線電波頻率高,通常也稱為“超高頻電磁波”。微波作為一種電磁波也具有波粒二象性。微波的基本性質通常呈現(xiàn)為穿透、反射、吸收三個特性。對于玻璃、塑料和瓷器,微波幾乎是穿越而不被吸收。對于水和食物等就會吸收微波而使自身發(fā)熱。而對金屬類東西,則會反射微波。